说明:120二轴对位平台是一款高精度电动平台,具备X、Y轴各50mm行程,重复定位精度2μm,适用于晶圆对位、光学调节、精密装配等场景。平台采用铝合金结构,表面黑色阳极氧化处理,兼具稳固性与耐用性,适应多种科研与工业环境。
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120二轴对位平台是一款高精度电动平台,具备X、Y轴各50mm行程,重复定位精度≤±2μm,适用于晶圆对位、光学调节、精密装配等场景。平台采用铝合金结构,表面黑色阳极氧化处理,兼具稳固性与耐用性,适应多种科研与工业环境。
核心传动部分选用米思米精密滚珠丝杆与交叉滚子导轨,双轴配备信浓步进电机,运行平稳、定位精准。120×120mm台面提供良好
的承载与集成空间,是高精度二维位移控制的理想选择。
技术参数:
X轴50mm,Y轴50mm
重复定位精度≤±2um
台面尺寸120*120/mm
主体材料及表面处理:铝合金,黑色阳极氧化
丝杆品牌:米思米精密滚珠丝杆
导轨品牌:米思米交叉滚子导轨
电机品牌:信浓
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